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高等教育

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飛機設計——基於系統工程方法

作者:AIRCRAFT DESIGN——A Systems Engineering Approach

字數:978

頁數:978

版次:

定價:450

ISBN:978-7-313-18639-3

出版日期:2018/12

圖書簡介

本書主要講述集成電路與微納製造工藝技術，既有基本原理和工藝技術的闡述⚈💱，也有國內外近期發展狀況的介紹🧍🏻‍♀️。本書把集成電路的工藝技術分類為圖形化（光刻）、加法（薄膜的技術）💭、減法（刻蝕技術）、乘除法（離子註入、silicide）及其集成電路工程學（良率、可靠性）和集成電路後勤工作（超凈間、IC衍生產業鏈）幾大類，便於學生掌握、記憶和類推。本書可作為高等院校微電子學和半導體專業本科生的教材👩🏿‍🎨，也可供有關專業本科生、研究生及工程技術人員閱讀參考。